Ætsning

isotropisk vs anisotrop ætsning

isotropisk vs anisotrop ætsning

Forskellene mellem isotrop og anisotrop ætsning har at gøre med den form, de hugger ud under ætsemasken. Anisotrop ætsning er, når plasmaetsningen er vinkelret og forekommer i en retning, mens isotrop ætsning opstår, når plasmaetsningen er i alle retninger.

  1. Hvad er anisotrop ætsning?
  2. Er våd ætsning isotrop?
  3. Er tør ætsning anisotrop?
  4. Hvad er forskellen mellem våd ætsning og tør ætsning?
  5. Hvad er typer ætsning?
  6. Hvad bruges plasmaætsning til?
  7. Når etchselektiviteten er høj betyder det?
  8. Hvordan styrer du ætsning?
  9. Hvorfor er der behov for ætsning?
  10. Hvad kan forårsage ætsningshændelsen i tør ætsning?
  11. Hvad er siliciumætsning?
  12. Hvad er meningen med ætsning?

Hvad er anisotrop ætsning?

Anisotrop ætsning er en subtraktiv mikrofabrikationsteknik, der har til formål at fortrinsvis fjerne et materiale i specifikke retninger for at opnå indviklede og ofte flade former. Våde teknikker udnytter de krystallinske egenskaber ved en struktur til at ætse i retninger styret af krystallografisk orientering.

Er våd ætsning isotrop?

Våd kemisk ætsning er generelt isotrop, selvom en maske er til stede, da det flydende ætsemiddel kan trænge ind under masken. Da retningsbestemthed sædvanligvis er vigtigt for mønsteroverførsel med høj opløsning, anvendes våd kemisk ætsning normalt ikke.

Er tør ætsning anisotrop?

Tør ætsning er normalt en anisotropisk proces, hvor momentet af ionarter, der accelererer mod substratet i kombination med en maskeringsproces, bruges til fysisk at fjerne og ætse målmaterialerne.

Hvad er forskellen mellem våd ætsning og tør ætsning?

Tør og våd ætsning er to hovedtyper af ætsningsprocesser. Disse processer er nyttige til fjernelse af overfladematerialer og oprettelse af mønstre på overfladerne. Hovedforskellen mellem tør ætsning og våd ætsning er, at tør ætsning udføres i en flydende fase, mens våd ætsning udføres i en plasmafase.

Hvad er typer ætsning?

Generelt er der to klasser af ætsningsprocesser:

Hvad bruges plasmaetsning til?

Plasmaetsning bruges til at 'ruge' en overflade i mikroskopisk skala. Komponentens overflade ætses normalt med en reaktiv procesgas, der giver både en kemisk og fysisk effekt på overfladen.

Når etchselektiviteten er høj betyder det?

Høj selektivitet er en relativ betegnelse for at beskrive, når to materialer ætser ved signifikant forskellige ætsningshastigheder for at give de ønskede resultater. Ofte refererer det til tilfælde, hvor masken ætser langsomt sammenlignet med det materiale, der er mønstret med ætsningen.

Hvordan styrer du ætsning?

Våd kemisk ætsning er isotrop og producerer afrundede mikrovægte sidevægskanaler. Sidevægens form og vinkel kan justeres ved at anvende titanium som en tilbagevendende maske under våd ætsning (fig. 1.5) (Pekas et al., 2010). Kanalens dybde styres af ætsningshastigheden og ætsningsvarigheden.

Hvorfor er der behov for ætsning?

Ætsning bruges til at afsløre metallets mikrostruktur gennem selektivt kemisk angreb. Det fjerner også det tynde, meget deformerede lag, der er introduceret under slibning og polering. I legeringer med mere end en fase skaber ætsning kontrast mellem forskellige regioner gennem forskelle i topografi eller reflektionsevne.

Hvad kan forårsage ætsningshændelsen i tør ætsning?

Tør ætsning henviser til fjernelse af materiale, typisk et maskeret mønster af halvledermateriale, ved at udsætte materialet for et bombardement af ioner argon, helium og andre gasser) ...

Hvad er siliciumætsning?

INTRODUKTION. Ætsning henviser i forbindelse med denne bog til opløsningsprocesser, der ensartet eller fortrinsvis fjerner materiale fra siliciumkrystaller nedsænket i en opløsning. Ætsning af silicium er blevet udforsket grundigt på grund af dets nyttige anvendelser til fremstilling af elektroniske enheder.

Hvad er meningen med ætsning?

transitivt verbum, transitivt udsagnsord. 1a: at producere (noget, såsom et mønster eller design) på et hårdt materiale ved at spise i materialets overflade (som ved syre eller laserstråle) b: at udsættes for sådan ætsning. 2: at afgrænse eller imponere tydeligt scener, der er ætset i vores sind, smerte blev ætset på hans træk.

forskel mellem solformørkelse og måneformørkelse i tabelform
En solformørkelse opstår, når månen kommer mellem jorden og solen. En måneformørkelse opstår, når jorden kommer mellem månen og solen. ... Formørkelse...
Tid Forskellen mellem tid og tid
Forskellen mellem tid og tid
Med tiden betyder det at ankomme lidt tidligere end den krævede tid. For eksempel skulle jeg deltage i en lektion kl.10.00, men jeg ankom kl.9.56. Til...
aerob og anaerob respiration
Under aerob cellulær respiration reagerer glucose med ilt og danner ATP, der kan bruges af cellen. Kuldioxid og vand dannes som biprodukter. I cellulæ...